[심토스 2022] 간섭 측정법 적용…조도·두께·단차 측정
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22-08-11 13:43
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[심토스 2022] 간섭 측정법 적용…조도·두께·단차 측정 넥센서,
SIMTOS 2022에서 현미경 간섭계 센서 선보여
[산업일보]
심토스(SIMTOS) 2022에 참가한 넥센서(nexensor)가 현미경 간섭계 센서를 비롯해 다양한 측정 솔루션을 참관객들에게 소개했다.
![광센서, 4차산업혁명, 간섭계 센서, 3D형상 측정기, DMD Moiré Sensor, 변위&두께측정 센서, 고분해능 원샷 3D형상 측정기, (주)넥센서 7d89fb1ebabbc43e1223d12824fbfcb4_1660193998_381.png](http://nexensor.com/data/editor/2208/7d89fb1ebabbc43e1223d12824fbfcb4_1660193998_381.png)
이 회사 성현석 영업이사는 “간섭 측정법을 적용한 현미경 간섭계 센서 nXI-5는 작은 영역을 대상으로 정밀한 측정이 가능하다. 조도·두께·단차 측정이 가능해
반도체의 미세 구조 측정, 범프, 거칠기, 디스플레이의 컬럼 스페이서, 표면 구조 등을 측정할 수 있다”라고 했다.